光刻機是生產制造芯片的主要設備,沒有先進的光刻機,自然就無法生產制造先進制程的芯片。
在光刻機廠商中,ASML的技術最為先進,幾乎占領了中高端市場,尤其是ASML研發制造的EUV光刻機,其是生產制造Seven 納米及以下芯片的必要設備。
雖然用DUV光刻機也能夠生產制造Seven 納米,但其存在成本高、工藝復雜以及良品率低等問題,所以在Seven 納米及以下芯片上,基本上都是采用EUV光刻機。

但EUV光刻機在2015年被研發制造出來以后,其產能一直都比較低,目前才總共出貨才100臺,并且一半以上都交付了臺積電。數據顯示,三星也想要更多EUV光刻機,無奈ASML根本無法生產出來,并且,ASML還積壓了幾十億歐元的EUV光刻機訂單。也就是說,從EUV光刻機被制造出來開始,其就面臨供不應求的問題,而且,ASML的產能沒有大幅度提升。

但就在近日,外媒傳來消息,ASML突然大提速,加速生產制造更多EUV光刻機。
消息稱,ASML預計在2021年生產制造45臺EUV光刻機,僅后半年就將交付25臺;2021年生產制造55臺;2022年則是60臺。相當于是3年生產160臺EUV光刻機。
要知道,在2019年ASML僅生產制造了26臺EUV光刻機,而2020年生產制造了30臺EUV光刻機,雖然產能也在逐年提升,但產能提升幅度不大。進入2021年后,尤其是進入2021年后半年,ASML才突然提速EUV光刻機的產能,這至少有三方面的含義。

首先,EUV光刻機需求太大了,不提速不行了。
據悉,三星明確表示想要更多EUV光刻機,結果因為ASML產能的問題,其在韓國投資2億美元建設EUV光刻機再制造工廠。另外,臺積電和英特爾都積極擴大芯片產能,尤其是先進制程芯片的產能,這自然需要更多EUV光刻機。再加上,ASML已經積壓了幾十億歐元的EUV光刻機訂單。
也就是說,巨大的EUV光刻機需求以及積壓的訂單,已經讓ASML不得不提速生產了。

其次,E技術正在普及。
EUV光刻機原本就用于非儲存芯片的生產制造,簡單就是說用于生產高通、蘋果、AMD以及華為海思廠商等Seven芯片及以下制程的芯片。如今,EUV光刻機也開始用于儲存芯片的制造,像三星、SK以及海力士等儲存芯片企業也開始用EUV光刻機進行制造。
不僅如此,其還將EUV應用層從1提升到5,這就意味著其需要更多的EUV光刻機。關鍵是,生產5nm等非儲存芯片,每個EUV層面僅需要一臺EUV光刻機,但生產制造16nm以下的儲存芯片,每個EUV層面需要1.5到2臺EUV光刻機。

也就是說,無論是生產儲存芯片還是非儲存芯片都在用EUV光刻機,這說明EUV技術正在普及,自然就需要更多EUV光刻機。
最后,ASML提速也是為了實現自由出貨。
EUV光刻機是ASML營收和利潤的主要貢獻者,畢竟其售價高,單臺售價是DUV光刻機的好幾倍。但是,ASML的EUV光刻機卻不能自由出貨,盡管ASML多次申請許可,甚至還發出了警告,結果依舊沒有實現。

如今,EUV技術正在普及,儲存芯片和非儲存芯片的生產制造都在使用EUV光刻機,而ASML加速提升EUV光刻機的產能,自然能夠加速EUV技術的普及。
也就是說,EUV技術普及和大量的EUV光刻機被生產制造出來,ASML或許就能夠實現自由出貨,因為普及的技術就不再是最先進的技術了。
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