11月5日，在第三屆中國(guó)國(guó)際進(jìn)口博覽會(huì)現(xiàn)場(chǎng)，荷蘭光刻機(jī)巨頭阿斯麥（ASML）全球副總裁、中國(guó)區(qū)總裁沈波在接受澎湃新聞（www.thepaper.cn）專(zhuān)訪(fǎng)時(shí)表示，該公司對(duì)向中國(guó)出口集成電路光刻機(jī)持開(kāi)放態(tài)度，對(duì)全球客戶(hù)均一視同仁，在法律法規(guī)框架下，都將全力支持。
當(dāng)前，中國(guó)已成為全球集成電路發(fā)展增速最快的地區(qū)之一。集成電路產(chǎn)業(yè)同時(shí)也是中國(guó)國(guó)民經(jīng)濟(jì)和社會(huì)發(fā)展的戰(zhàn)略性、基礎(chǔ)性和先導(dǎo)性產(chǎn)業(yè)，地位十分重要。
ASML公司是一家總部設(shè)在荷蘭Veldhoven市的全球最大的集成電路設(shè)備制造商之一。該公司所生產(chǎn)的光刻機(jī)是生產(chǎn)集成電路過(guò)程必不可少的核心角色。目前該公司所產(chǎn)最尖端EUV（極紫外光）光刻機(jī)的加工極限已達(dá)到5納米。美國(guó)蘋(píng)果公司最新版iPhone12所搭載芯片即為在ASML支持下所產(chǎn)5納米芯片。
澎湃新聞（www.thepaper.cn）：目前ASML在全球集成電路光刻機(jī)領(lǐng)域處于龍頭地位，你認(rèn)為這種地位是如何得來(lái)的？
沈波：現(xiàn)在大家可能更多關(guān)注的是結(jié)果，是我們目前的位置，但其實(shí)對(duì)我們來(lái)說(shuō)，取得如今位置的過(guò)程更重要。ASML公司成立36年來(lái)，中間經(jīng)歷了非常多的曲折與坎坷，尤其是前十年很多次幾乎都要死掉了，后來(lái)我們慢慢地在技術(shù)上摸索出了自己的一條道路之后，再經(jīng)過(guò)非常多的努力，才一步步走到今天。
其中我覺(jué)得有兩點(diǎn)原因尤為重要：第一，整個(gè)公司從研發(fā)到生產(chǎn)都處于一個(gè)非常開(kāi)放的狀態(tài)，我們合作伙伴非常多，與客戶(hù)之間也互相非常透明，很多事情共同開(kāi)發(fā)。ASML產(chǎn)品的85%的零部件是與供應(yīng)鏈共同研發(fā)的。開(kāi)放的生態(tài)系統(tǒng)能讓企業(yè)在全世界找到最好的供應(yīng)商，包括光學(xué)器件、機(jī)械裝置等。
第二，是我們公司對(duì)于技術(shù)的執(zhí)著。ASML是一個(gè)工程師文化非常濃厚的公司，大多數(shù)員工都是工程師，所以對(duì)技術(shù)有著“咬定青山不放松”的勁頭，很多在外界看來(lái)不可能的事情，我們就有這個(gè)勁頭一直很偏執(zhí)地想去做成。
大家比較關(guān)注我們的最新技術(shù)，其實(shí)這背后有幾十年的努力，一個(gè)產(chǎn)品我們可能20年前就提出想法，然后20年里投入200億歐元的研發(fā)費(fèi)用來(lái)做這個(gè)產(chǎn)品，在幾年前行業(yè)里還有很多人懷疑我們這個(gè)技術(shù)最后能不能工業(yè)化應(yīng)用，在這種情況下，可以說(shuō)我們公司仍舊保持了一種初創(chuàng)精神。
澎湃新聞（www.thepaper.cn）：公司目前在中國(guó)的發(fā)展情況如何？
沈波：自30年前進(jìn)入中國(guó)市場(chǎng)以來(lái)，ASML已提供了全面的技術(shù)和能力來(lái)滿(mǎn)足中國(guó)客戶(hù)的需求。目前我們?cè)谥袊?guó)一共為客戶(hù)提供了700多臺(tái)裝機(jī)。在遵守法律法規(guī)的同時(shí)，ASML全力支持客戶(hù)和中國(guó)集成電路行業(yè)的發(fā)展。
為了更好地支持和滿(mǎn)足客戶(hù)的需求，ASML于2000年在天津正式成立了分公司。目前，ASML在中國(guó)設(shè)有12個(gè)辦公室，11個(gè)倉(cāng)儲(chǔ)物流中心，2處開(kāi)發(fā)中心，1個(gè)培訓(xùn)中心，擁有1000多名員工。
我們最早一臺(tái)機(jī)器是1988年進(jìn)入中國(guó)的，一路走過(guò)來(lái)，在每個(gè)階段我們和中國(guó)集成電路業(yè)界都有著很好的合作。目前中國(guó)的700多臺(tái)裝機(jī)涵蓋了ASML公司絕大部分類(lèi)型產(chǎn)品。
這里我想說(shuō)明一下，大家有的時(shí)候可能會(huì)有一個(gè)誤解，是不是新的產(chǎn)品出來(lái)以后老的產(chǎn)品就過(guò)時(shí)了。其實(shí)現(xiàn)在回頭去看，我們80、90年代的產(chǎn)品現(xiàn)在市場(chǎng)上仍然會(huì)有很多需求。因?yàn)楝F(xiàn)在集成電路的應(yīng)用太多樣化了，7納米、5納米、3納米芯片的數(shù)量在整個(gè)芯片供應(yīng)鏈中大概只占10%多，絕大部分芯片是需要“成熟制程”的。比如現(xiàn)在物聯(lián)網(wǎng)、汽車(chē)電子、軌道交通、超高壓輸電等“新基建”的多個(gè)方面大量需要的還是“成熟制程”的芯片。
我有時(shí)候覺(jué)得“高端”、“低端”這個(gè)分類(lèi)是不對(duì)的，不同產(chǎn)品的芯片對(duì)光刻機(jī)的需求是不同的。有的可能就需要做5納米，有一些可能做40納米、28納米就夠了，有些甚至需要做90、110納米，不同產(chǎn)品類(lèi)型的應(yīng)用場(chǎng)景不同。
澎湃新聞（www.thepaper.cn）：下一步在中國(guó)市場(chǎng)的發(fā)展計(jì)劃是什么？如何看待未來(lái)中國(guó)集成電路市場(chǎng)？
沈波：現(xiàn)在中國(guó)集成電路行業(yè)發(fā)展非常強(qiáng)勁，國(guó)家這幾年對(duì)集成電路投入也非常大，作為ASML來(lái)講就是跟著中國(guó)集成電路發(fā)展去更好地服務(wù)我們的客戶(hù)。因?yàn)楣饪虣C(jī)對(duì)客戶(hù)芯片廠來(lái)說(shuō)是最核心設(shè)備，我們首先要保證機(jī)器的正常運(yùn)行，幫助客戶(hù)把產(chǎn)品做好，我們會(huì)加強(qiáng)這方面的服務(wù)支持力度。
近幾年我們?cè)谥袊?guó)也建立了自己的培訓(xùn)中心，培養(yǎng)光刻行業(yè)人才。同時(shí)，在深圳和北京成了兩家技術(shù)開(kāi)發(fā)中心，做計(jì)算光刻、量測(cè)等開(kāi)發(fā)。
我們本次在進(jìn)博會(huì)帶來(lái)重點(diǎn)推介的就是包含建模分析、量測(cè)的整體光刻解決方案，該方案包括先進(jìn)控制能力的光刻機(jī)臺(tái)，計(jì)算光刻和測(cè)量共三大部分，形成一個(gè)“鐵三角”，通過(guò)建模、仿真、分析等技術(shù)，讓光刻邊緣定位精度不斷提高，讓成像達(dá)到最佳效果，ASML的整體光刻解決方案能夠提高產(chǎn)品良率和生產(chǎn)效率，不但能夠幫助行業(yè)客戶(hù)提升芯片的價(jià)值，同時(shí)也可以降低生產(chǎn)成本, 實(shí)現(xiàn)更廣泛的應(yīng)用。
總的來(lái)說(shuō)，公司在中國(guó)整個(gè)狀態(tài)越來(lái)越好，未來(lái)服務(wù)會(huì)更多樣化，對(duì)中國(guó)的投入也會(huì)越來(lái)越大。
澎湃新聞（www.thepaper.cn）：光刻機(jī)包括DUV（高紫外光）光刻機(jī)和EUV（極紫外光）光刻機(jī)等多種類(lèi)型，下一步，ASML有沒(méi)有向中國(guó)出口EUV光刻機(jī)的打算？
沈波：EUV光刻機(jī)我們還在等荷蘭政府的出口許可證。ASML必須要在遵守法律法規(guī)的前提下進(jìn)行光刻機(jī)出口。但我們對(duì)向中國(guó)出口光刻機(jī)是保持很開(kāi)放態(tài)度的，我們對(duì)全球客戶(hù)都一視同仁，只要是我們能夠提供的技術(shù)和設(shè)備，我們都會(huì)全力支持。實(shí)際上，2020年第二、第三季度，公司發(fā)往中國(guó)大陸地區(qū)的光刻機(jī)臺(tái)數(shù)超過(guò)了全球總臺(tái)數(shù)的20%。
澎湃新聞（www.thepaper.cn）：你對(duì)近期中國(guó)集成電路行業(yè)發(fā)展怎么看？
沈波：集成電路行業(yè)歷史其實(shí)也有60年了，現(xiàn)在整個(gè)信息化時(shí)代產(chǎn)生的數(shù)據(jù)和對(duì)計(jì)算能力的要求越來(lái)越高，整個(gè)集成電路產(chǎn)業(yè)也在社會(huì)發(fā)展和科技進(jìn)步層面，變成了非常基礎(chǔ)性的關(guān)鍵產(chǎn)業(yè)。
但是，芯片的制造有上千道工序，并不是只有光刻，從我們的角度來(lái)看，整體工藝水平到一定程度之后，對(duì)設(shè)備就有一些不同需求，但前邊的技術(shù)儲(chǔ)備時(shí)間是要非常長(zhǎng)的，不是說(shuō)今天覺(jué)得可以去做就能夠做了，我覺(jué)得現(xiàn)在這個(gè)行業(yè)大家有點(diǎn)太過(guò)“積極”了，應(yīng)當(dāng)充分認(rèn)識(shí)到行業(yè)中的風(fēng)險(xiǎn)和難度。
我們干這個(gè)行業(yè)，最大的一個(gè)體會(huì)就是，這真的是一個(gè)很難的行業(yè)，非常難，需要大家有耐心、有毅力、能堅(jiān)持，真的往里持續(xù)投入，去把一個(gè)個(gè)問(wèn)題解決，才能真正往前發(fā)展，要能夠沉得下心來(lái)。
從芯片制造行業(yè)發(fā)展角度來(lái)講，全球有一個(gè)不斷整合的過(guò)程，中國(guó)最終也會(huì)融入到這個(gè)體系之中，所以有一些必須經(jīng)歷的過(guò)程可能還是要經(jīng)歷。
澎湃新聞（www.thepaper.cn）：你認(rèn)為集成電路技術(shù)下一步的發(fā)展方向是什么？
沈波：隨著5G、人工智能、大數(shù)據(jù)、物聯(lián)網(wǎng)的發(fā)展，催化出超乎想象的各種應(yīng)用，對(duì)芯片性能提出了更高要求。現(xiàn)在集成電路行業(yè)談摩爾定律談得比較多，即大概每?jī)赡晷酒夹g(shù)要往前走一步，實(shí)際上就導(dǎo)致每?jī)赡晷酒男阅芨鼜?qiáng)大了，成本更低了。比如，十年前買(mǎi)一個(gè)512M的U盤(pán)可能要幾百塊錢(qián)，現(xiàn)在幾塊錢(qián)就能買(mǎi)到，摩爾定律實(shí)際上是讓芯片變便宜了，這都是技術(shù)發(fā)展帶來(lái)的。
整個(gè)行業(yè)方面，我認(rèn)為大家推進(jìn)集成電路行業(yè)往前走有幾個(gè)大的方向：一個(gè)是從物理的角度讓芯片變得小一些，這方面我們ASML扮演一個(gè)角色；同時(shí)，行業(yè)還要把芯片的集成度提高，讓芯片的功能不再單一，原來(lái)存儲(chǔ)就是存儲(chǔ)，邏輯就是邏輯，現(xiàn)在可能在同一個(gè)芯片可能可以集成多種功能；另外，就是芯片本身器件和材料的進(jìn)步，比如硅基芯片看看是不是要做化鈷芯片。這些方向結(jié)合起來(lái)，會(huì)讓芯片做的越來(lái)越強(qiáng)大，越來(lái)越便宜。
澎湃新聞（www.thepaper.cn）：作為行業(yè)龍頭害不害怕來(lái)自其他公司的競(jìng)爭(zhēng)沖擊你們目前的地位？
沈波：不害怕，我們一直強(qiáng)調(diào)，ASML是一個(gè)很開(kāi)放的公司，競(jìng)爭(zhēng)一定會(huì)推動(dòng)技術(shù)的進(jìn)步，所以我們是歡迎競(jìng)爭(zhēng)的，只有競(jìng)爭(zhēng)才能充分把大家所有聰明才智充分挖掘出來(lái)，推動(dòng)行業(yè)發(fā)展。我覺(jué)得我們公司某種程度上有這個(gè)使命，幫助整個(gè)行業(yè)繼續(xù)往前走，只要是有利于各行業(yè)向前發(fā)展的事我們都?xì)g迎。
一個(gè)系統(tǒng)內(nèi)部，大家分工協(xié)作最有效率，芯片技術(shù)越來(lái)越有競(jìng)爭(zhēng)力，人們才能消費(fèi)到價(jià)格更低、性能更好的電子產(chǎn)品。只有開(kāi)放才能最有效地創(chuàng)新，關(guān)起門(mén)來(lái)效率是非常低的。
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